1. Kemurnian
Kemurnian target titanium mempunyai pengaruh yang besar terhadap sifat film yang tergagap. Semakin tinggi kemurnian target, semakin sedikit partikel unsur pengotor dalam film yang tergagap, dan semakin baik kinerja film (seperti ketahanan terhadap korosi, sifat optik dan listrik). Dalam aplikasi praktis, persyaratan kemurnian target titanium untuk tujuan berbeda berbeda-beda. . Misalnya, persyaratan kemurnian target untuk pelapis dekoratif umum tidak menuntut, sedangkan target untuk sirkuit terpadu, badan tampilan, dan bidang lainnya memiliki persyaratan kemurnian yang jauh lebih tinggi, umumnya sekitar 99,999 persen atau lebih.
2. Ukuran butir rata-rata
Biasanya target titanium memiliki struktur polikristalin, dan ukuran butir dapat berkisar dari mikron hingga milimeter. Laju sputtering pada target butiran berukuran halus lebih cepat dibandingkan dengan target berbutir kasar. Distribusi ketebalan film yang disemprotkan juga relatif seragam. Ukuran butir rata-rata target titanium untuk sirkuit terpadu umumnya harus berada dalam jarak 30 μm, dan ukuran butir rata-rata target titanium berbutir ultrahalus harus di bawah 10 μm.
3. Orientasi kristal
Titanium memiliki struktur heksagonal yang rapat. Selama sputtering, atom target titanium mudah tergagap sepanjang arah susunan atom heksagonal. Oleh karena itu, untuk mencapai laju sputtering tertinggi, laju sputtering dapat ditingkatkan dengan mengubah struktur kristal target. tingkat sputtering. Arah kristalisasi target titanium juga memiliki pengaruh besar pada keseragaman ketebalan lapisan film yang tergagap, dan ukuran film pada layar datar dan lapisan dekoratif relatif tebal, sehingga persyaratan untuk orientasi butiran target titanium yang sesuai adalah relatif rendah.
4. Geometri dan ukuran
Hal ini terutama tercermin dalam akurasi pemrosesan dan kualitas pemrosesan, seperti ukuran pemrosesan, kerataan permukaan, kekasaran, dll. Ketebalan kecil akan mempengaruhi masa pakai target; permukaan penyegelan dan alur penyegelan yang terlalu kasar akan menyebabkan masalah vakum setelah target dipasang; menghaluskan permukaan target yang tergagap dapat membuat permukaan target penuh dengan ujung yang menonjol, di bawah pengaruh efek ujung, potensi ujung yang terangkat ini akan sangat meningkat, sehingga merusak pelepasan dielektrik. Namun, tonjolan yang terlalu besar akan merusak kualitas dan stabilitas sputtering.
Perusahaan kami dapat menyediakan paduan titanium sepertiTarget Sputter Aluminium TitaniumDanSasaran Sputtering Titanium Ti, serta target titanium dengan kemurnian dan bentuk berbeda, dan juga menerima layanan yang disesuaikan. Jika perlu, silakan hubungi kami melalui email.
